[发明专利]一种金属化薄膜加厚用二次真空镀膜机

摘要

本发明公开一种金属化薄膜加厚用二次真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构。第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；在喂入机构与镀膜机构之间、镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置。本发明具有的自动化程度高、补料/收料方便、及时、预热均匀、预热量可调、适用多种型号膜的加工、镀膜厚度可调的优点。

主权项

1.一种金属化薄膜加厚用二次真空镀膜机，包括真空室以及设置在所述真空室中的喂入机构、镀膜机构、卷绕机构；所述喂入机构、镀膜机构、卷绕机构按照工艺流程从前至后依次设置；其特征在于：在所述喂入机构与镀膜机构之间、所述镀膜机构与卷绕机构之间均设置有薄膜限位装置；所述薄膜限位装置包括上薄膜限位组件以及下薄膜限位组件；所述上薄膜限位组件位于绝缘薄膜的上方，所述下薄膜限位组件位于薄膜的下方；所述上薄膜限位组件、下薄膜限位组件相向运动用以对薄膜进行限位；所述镀膜机构包括第一蒸发镀膜装置、第二蒸发镀膜装置；所述第一蒸发镀膜装置包括第一蒸镀鼓、第一蒸发舟；所述第一蒸发舟设置在所述第一蒸镀鼓的下方；所述第一蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第一蒸发舟开口大小的第一活动板组件；所述第二蒸发镀膜装置包括第二蒸镀鼓、第二蒸发舟、屏蔽装置；所述第二蒸发舟设置在所述第二蒸镀鼓的下方；所述第二蒸发舟的顶部开口区域设置有调节所述第二蒸发舟开口大小的第二活动板组件；所述屏蔽装置用以限定从所述第二蒸发舟的开口处蒸发出的金属落在绝缘薄膜上的宽度、区域。