[发明专利]一种窄带带阻滤波器有效
申请号: | 201610838172.5 | 申请日: | 2016-09-21 |
公开(公告)号: | CN106249333B | 公开(公告)日: | 2019-06-21 |
发明(设计)人: | 廖艳林;赵艳;谌正艮 | 申请(专利权)人: | 安徽大学 |
主分类号: | G02B5/26 | 分类号: | G02B5/26;G02B5/18 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 金凯;王丽丽 |
地址: | 230601 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种窄带带阻滤波器,属于微纳光学器件技术领域。该窄带带阻滤波器包括有二氧化硅基底,所述二氧化硅基底上镀有氧化铝膜层,该氧化铝膜层刻蚀成单层复合光栅。本发明的窄带带阻滤波器结构简单合理,通过将单层复合光栅置于基底上的方式,可获得反射式窄带滤波器,且其电场分布主要在光栅槽内,有利于折射率传感方面的应用。 | ||
搜索关键词: | 一种 窄带 带阻滤波器 | ||
【主权项】:
1.一种窄带带阻滤波器,包括有二氧化硅基底,其特征在于:所述二氧化硅基底上镀有氧化铝膜层,该氧化铝膜层刻蚀成单层复合光栅;所述复合光栅的一个周期包含两个不同宽度的光栅槽;所述复合光栅一个周期的宽度p=1000nm,一个周期包含两个相同宽度w=400nm、相同高度h=740nm的光栅脊,一个周期包含两个不同宽度a=140nm、b=60nm的光栅槽。
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