[发明专利]一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚有效

专利信息
申请号: 201610835100.5 申请日: 2016-09-19
公开(公告)号: CN106521629B 公开(公告)日: 2018-12-28
发明(设计)人: 朱灿;李斌;张亮 申请(专利权)人: 山东天岳晶体材料有限公司
主分类号: C30B29/36 分类号: C30B29/36;C30B9/10
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 赵斌;苗峻
地址: 250118 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种获得液体硅的方法及实现该方法的坩埚,该方法采用同步熔化助溶剂的方式获得高碳溶解度的液体硅溶液,实现该方法的坩埚包括坩埚体,所述坩埚体内壁上设置有凹槽,所述凹槽一端设置有挡板,所述凹槽末端底部均匀设置有小细孔;采用这种方法和相应结构的坩埚,可以解决制备碳化硅过程中助溶剂熔点不同导致熔化不同步的问题,使熔化的区间缩短,形成固定化学配比的液态硅溶液,提高碳的溶解度,保证晶体的快速生长。
搜索关键词: 一种 获得 液体 方法 实现 坩埚
【主权项】:
1.一种获得液体硅的方法,其特征在于:在坩埚内同步熔化助溶剂,并使其自动加入到液态硅中,从而提高液体硅中碳元素的溶解度,其中利用坩埚内的温度梯度促使助溶剂与硅元素同步熔化;实现上述获得液体硅的方法的坩埚,包括坩埚体(1),其特征在于:所述坩埚体(1)内设置有至少一条凹槽(2),且所述凹槽(2)倾斜设置在坩埚体(1)的内壁上;所述凹槽(2)螺旋设置在坩埚体(1)的内壁上;所述凹槽(2)末端底部设置有小细孔(4);所述凹槽(2)尾端设置有挡板(3)。
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