[发明专利]一种在柔性衬底上沉积NO2气敏材料的高温制备方法在审
| 申请号： | 201610825096.4 | 申请日： | 2016-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN106383150A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张超;耿欣;李嘉伟;罗一凡 | 申请（专利权）人： | 扬州大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C23C4/11;C23C4/129 |
| 代理公司： | 南京中新达专利代理有限公司32226 | 代理人： | 孙鸥,朱杰 |
| 地址： | 225009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在柔性衬底上沉积NO2气敏材料的高温制备方法。本发明聚丙烯、聚酰亚胺或者聚对苯二甲酸乙二醇酯作为器件的衬底，在衬底正面制备叉指型电极和接线端，将金属氧化物粉末溶于去离子水或有机溶剂中，搅拌得到均匀悬浮液，悬浮液经火焰喷枪产生的焰流，悬浮液经过蒸发、加热和加速以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。本发明克服了现有技术存在的缺陷。本发明沉积过程更为简单，成本更低，效率更高，可选择材料范围宽，具有灵敏度高、响应速度较快，气敏材料范围更广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 衬底 沉积 no2 材料 高温 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种在柔性衬底上沉积NO2气敏材料的高温制备方法，其特征在于，包含以下步骤：(1)采用聚丙烯、聚酰亚胺或者聚对苯二甲酸乙二醇酯作为器件的衬底；(2)通过丝网印刷、溅射、蒸镀或喷涂方法在衬底正面制备叉指型电极和接线端；(3)将金属氧化物粉末，如氧化锌、氧化钨、氧化钛等，溶于去离子水或有机溶剂中，利用磁力搅拌器或其它搅拌装置得到均匀悬浮液；(4)将所制备得到的悬浮液通过蠕动泵以直径0.26mm的非雾化喷嘴送入到由火焰喷枪产生的焰流；(5)悬浮液经过蒸发、加热和加速等一系列反应，以熔融粒子撞击在叉指型电极正上方制备得到半导体气敏涂层。
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