[发明专利]积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法

摘要

本发明公开了一种积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法，包括均匀光源发生器、分束器，消像差透镜组、探测器与计算机系统。计算机系统利用光学成像法检测光纤排布精度或者胶合微透镜阵列后光纤阵列与微透镜阵列光轴的同轴精度，根据成像系统放大率以及探测器像元尺寸，计算排布精度，其检测精度可达好于0.1微米量级，完全满足IFU光纤阵列排布精度的要求。

主权项

1.一种积分视场光纤光谱仪光纤排布检测的检测方法，其特征在于，包括积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统，该系统包括：均匀光源发生器(3)，用于均匀照亮IFU微透镜端(1)或IFU狭缝端(7)的光纤阵列、微透镜阵列；分束器(2)，用于透射均匀光源发生器(3)的光，以及将被照亮的光纤阵列或微透镜阵列的光反射至成像系统；消像差透镜组，用于把光纤阵列或微透镜阵列成像到探测器(6)上；探测器(6)，用于接收光纤阵列或微透镜阵列的像；计算机系统，用于计算探测器(6)接收到的光纤阵列或微透镜阵列的像的质心位置，比较每根光纤质心位置坐标，确定光纤阵列排布精度；或比较每个微透镜质心位置坐标，确定微透镜排布精度；所述消像差透镜组包括准直透镜组(4)与成像透镜组(5)，被所述分束器(2)反射的光依次通过准直透镜组(4)、成像透镜组(5)；所述分束器(2)的反射率与透射率值之和为100％，反射率和透射率之比为1：1；所述IFU微透镜端(1)为光纤阵列胶合微透镜阵列进行光纤耦合；所述探测器(6)的靶面大小为B，IFU微透镜端(1)尺寸为A，则准直透镜组(4)和成像透镜组(5)的放大率M＝B/A，若已知准直透镜组(4)的焦距为f1，则成像透镜组(5)的焦距f2＝f1*M；其检测方法包括IFU微透镜端(1)的检测和IFU狭缝端(7)的检测，所述IFU微透镜端(1)的检测具体按照以下步骤进行：步骤1，均匀光源发生器(3)发光后透过分束器(2)把IFU微透镜端(1)照亮，被照亮的微透镜阵列通过分束器(2)反射到准直透镜组(4)和成像透镜组(5)中，探测器(6)接收微透镜阵列的像，通过计算机计算微透镜阵列中每个微透镜成像的质心位置坐标，计算得到微透镜阵列的排布精度；步骤2，关闭均匀光源发生器(3)，从IFU狭缝端(7)入射均匀光，这时IFU微透镜端(1)的光纤阵列会出射均匀光，微透镜的亮度会极大的降低，光纤阵列的每根光纤都会有较强的均匀光出射，相当于IFU微透镜端(1)光纤阵列被照亮，被照亮的光纤阵列通过分束器(2)反射到准直透镜组(4)和成像透镜组(5)中，探测器(6)接收光纤阵列的像，通过计算机计算光纤阵列中每根光纤成像的质心位置坐标，计算得到光纤阵列的排布精度；步骤3，通过步骤1计算得到微透镜阵列的排布精度与步骤2计算得到光纤阵列的排布精度，比较对应的微透镜和光纤的质心位置，计算出每个微透镜和对应光纤的质心位置误差，从而得到微透镜阵列和光纤阵列的共轴误差；所述IFU狭缝端(7)的检测具体按照以下步骤进行：从IFU微透镜端(1)入射均匀光，这时IFU狭缝端(7)的光纤阵列会出射均匀光，相当于IFU狭缝端(7)被照亮，被照亮的光纤阵列通过分束器(2)反射到准直透镜组(4)和成像透镜组(5)中，探测器(6)接收光纤阵列的像，通过计算机计算光纤阵列中每根光纤成像的质心位置坐标，计算得到光纤的排布精度。