[发明专利]气体敏感霍尔设备有效
| 申请号： | 201610819317.7 | 申请日： | 2016-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN106546644B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | W.布罗伊尔;M.埃金格 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;G01N27/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及气体敏感霍尔设备。本文描述了化学敏感霍尔设备。根据本发明的一个示例，霍尔设备包括衬底和布置在衬底上的化学敏感层。化学敏感层能够与气态或液体流体的原子或分子相互作用。力电极连接到化学敏感层，以用于沿第一方向将传感器电流馈送通过化学敏感层。感测电极连接到化学敏感层，以沿第二方向分接化学敏感层处的霍尔电压。背栅布置在衬底上或集成在衬底中，并且通过隔离层与化学敏感层隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 敏感 霍尔 设备 | ||
【主权项】：
1.一种化学敏感霍尔设备，包括：衬底；化学敏感层，布置在衬底上并且可操作地与气态或液体流体的原子或分子相互作用；连接到化学敏感层的力电极，用于沿第一方向将传感器电流馈送通过化学敏感层；连接到化学敏感层的感测电极，用于沿第二方向分接化学敏感层处的霍尔电压；背栅，布置在衬底上或集成在衬底中；背栅通过隔离层与化学敏感层隔离。
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