[发明专利]MEMS致动器对准

摘要

本发明涉及MEMS致动器对准。一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如，致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法，其包含：将多个径向延伸的凸片安置在所述致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在所述邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。

主权项

一种制造设备的方法，所述方法包括：形成致动器装置，所述致动器装置具有至少一个致动器、旋转地耦合至所述至少一个致动器的平台以及安置在所述致动器装置的外周边的多个径向延伸的凸片，所述致动器具有围绕枢转轴线而相对于彼此旋转移动的多个组件，所述枢转轴线在所述多个组件的相对的组件之间延伸；将光学元件放置于所述平台上或所述平台的中心开口内；提供具有前表面的环形结构，所述前表面具有围绕所述环形结构内的中心开口而布置的多个狭槽，每一狭槽具有与所述凸片中的对应者的相应侧壁在配置上互补的侧壁；以及将所述凸片中的各凸片插入到所述狭槽中的对应者中以使得所述光学元件的光轴被放置为与所述环形结构的所述中心开口的中心轴线同轴。