[发明专利]一种偏转镜的微振动平台

摘要

本发明涉及一种偏转镜的微振动平台，包括底座，所述底座上设有支座；四个支撑机构，设置在所述支座上并以其中心均匀分布；四个促动机构，分别与各支撑机构连接；四个二级放大机构，分别连接各支撑机构与促动机构；安装板，设置在各所述促动机构端部上，用于安装偏转镜。本繁忙通过二级放大机构，对压电陶瓷输出的位移进行两次放大，大大增大了偏转镜的偏转角度，避免了光路被机械结构阻挡；柔性铰链采用多层薄片状的柔性单元，可以满足偏转镜在不同方向上的柔性需要，且与偏转镜的连接处采用柱状的结构不会产生拉扯和形变，确保了偏转角度。

主权项

1.一种偏转镜的微振动平台，其特征在于：包括‑底座，所述底座上设有支座；‑四个支撑机构，设置在所述支座上并以其中心均匀分布；‑四个促动机构，分别与各支撑机构连接；‑四个二级放大机构，分别连接各支撑机构与促动机构；‑安装板，设置在各所述促动机构端部上，用于安装偏转镜；所述二级放大机构包括支架，所述支架包括两侧壁和连接两侧壁的底壁，其中一所述侧壁的端部连接有第一杠杆，另一个侧壁上连接有位于所述第一杠杆上方且与所述第一杠杆连接的第二杠杆，所述第一杠杆上设有偏离其中心的第一通孔，所述第二杠杆上设有偏离其中心的第二通孔；所述支撑机构包括设置在所述支座上并位于两所述侧壁与底壁及第一杠杆围合形成的空间内的压电陶瓷，所述压电陶瓷朝向所述第一杠杆的端部与所述第一杠杆之间设有垫片，所述垫片上设有滚珠，所述第一通孔内连接有与所述滚珠相抵的预紧顶丝。