[发明专利]设备门和薄膜晶体管测试设备在审
| 申请号： | 201610814936.7 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106370993A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 谷玥;许倩文;薛静;宋玉冰;崔子巍 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 汪源,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种设备门和薄膜晶体管测试设备，所述设备门用于封闭薄膜晶体管测试室，包括滑道结构和折页结构，所述滑道结构与所述薄膜晶体管测试室固定连接，所述滑道结构包括相对设置的第一滑道和第二滑道；所述折页结构包括多个折页，相邻折页之间通过转轴相互连接，所述折页的两端分别设置有滑道孔，所述第一滑道与所述第二滑道分别设置在对应的滑道孔之内，所述折页结构靠近前端的折页与所述滑道结构固定连接。本发明提供的技术方案通过折叠推拉方式进行设备门的开启和关闭，使得设备门不再占用薄膜晶体管测试室上方的空间，因此对薄膜晶体管进行测试时也就不再需要将显微镜移走，从而节省了测试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 薄膜晶体管 测试 | ||
【主权项】：
一种设备门，用于封闭薄膜晶体管测试室，其特征在于，包括滑道结构和折页结构，所述滑道结构与所述薄膜晶体管测试室固定连接，所述滑道结构包括相对设置的第一滑道和第二滑道；所述折页结构包括多个折页，相邻折页之间通过转轴相互连接，所述折页的两端分别设置有滑道孔，所述第一滑道与所述第二滑道分别设置在对应的滑道孔之内，所述折页结构靠近前端的折页与所述滑道结构固定连接。
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