[发明专利]基于补偿干涉仪的串联式全场光学层析成像装置及方法有效
| 申请号： | 201610814446.7 | 申请日： | 2016-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN106248624B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 高万荣;郭英呈;朱越 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45 |
| 代理公司： | 32203 南京理工大学专利中心 | 代理人： | 薛云燕 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于补偿干涉仪的串联式全场光学层析成像装置及方法。该装置包括宽带卤素光源、科勒照明系统、补偿干涉仪、第二分光棱镜、探测干涉仪、样品、成像透镜和面阵CCD；方法为：宽带卤素光源发出的光经过科勒照明系统进入补偿干涉仪，经补偿干涉仪两臂反射回来的光被第二分光棱镜分成两束光，其中一束进入探测干涉仪，进入探测干涉仪的光一部分被反射、另一部分穿过探测干涉仪对样品照明；经由探测干涉仪的反射光作为参考光，该参考光和样品的后向散射光相遇发生干涉，该干涉信号穿过第二分光棱镜后，经过成像透镜聚焦到面阵CCD上。本发明具有操作方便、分辨率高、成像速度快、结构紧凑、便于手持和内窥化的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 补偿 干涉仪 串联式 全场 光学 层析 成像 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于补偿干涉仪的串联式全场光学层析成像装置，其特征在于，包括宽带卤素光源(1)、科勒照明系统、补偿干涉仪、第二分光棱镜(11)、探测干涉仪、样品(14)、成像透镜(15)和面阵CCD(16)；宽带卤素光源(1)发出的光经过科勒照明系统进入补偿干涉仪，经补偿干涉仪两臂反射回来的光被第二分光棱镜(11)分成两束光，其中一束进入探测干涉仪，进入探测干涉仪的光一部分被反射、另一部分穿过探测干涉仪对样品(14)照明；经由探测干涉仪的反射光作为参考光，该参考光和样品(14)的后向散射光相遇发生干涉，该干涉信号穿过第二分光棱镜(11)后，经过成像透镜(15)聚焦到面阵CCD(16)上；/n所述科勒照明系统包括顺次设置的前置聚光镜(2)、孔径光阑(3)、视场光阑(4)、后置聚光镜(5)，宽带卤素光源(1)发出的光束经前置聚光镜(2)后，第一次成像于孔径光阑(3)处，后置聚光镜(5)将该处光源像二次成像于探测干涉仪中显微物镜的后焦面，视场光阑(4)对照明范围进行控制，实现样品的均匀照明；/n所述补偿干涉仪基于迈克尔逊式结构，包括第一分光棱镜(6)、第一反射镜(7)、第二反射镜(8)、压电促动器(9)、线性位移台(10)，补偿干涉仪两臂放置相同的反射镜即第一反射镜(7)、第二反射镜(8)，第二反射镜(8)固定设置于线性位移台(10)，压电促动器(9)固定设置于第二反射镜(8)的非反射面，线性位移台(10)实现调节光程和轴向扫描，压电促动器(9)实现移相干涉测量；/n所述探测干涉仪基于菲索干涉结构，包括显微物镜(12)、载玻片(13)；载玻片(13)作为分光平面，载玻片(13)反射的光作为参考光，样品(14)的后向散射光作为样品光。/n
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