[发明专利]一种负性含氟聚碳酸酯光刻胶组合物及用于制备光学开关在审
| 申请号： | 201610811983.6 | 申请日： | 2016-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN106406029A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 崔占臣;蔡珍珍;史作森;李闯洋 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G02F1/01;C08G64/42 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司22201 | 代理人： | 刘世纯,王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种负性含氟聚碳酸酯光刻胶组合物及用于制备光学开关，属于聚合物光波导技术领域。由含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯和有机溶剂组成，按重量和100％计算，含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯的含量为10～30wt％。该负性含氟聚碳酸酯光刻胶组合物由于主体聚合物中大部分氢原子被氟原子取代，其在通讯波段吸收较小。肉桂酰基团为光交联点，解决了含环氧基团的树脂在加入生色团分子后不易固化的问题，可以用直接光写入法来制备波导器件，简化了器件的制备工艺，同时提高器件波导的侧壁光滑度，有利于降低传输损耗。该光刻胶组合物可以在紫外波长200nm～400nm的范围内曝光并成像制作聚合物MZI热‑光开关波导器件，加入生色团分子可用于聚合物电‑光开关波导器件的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 负性含氟 聚碳酸酯 光刻 组合 用于 制备 光学 开关 | ||
【主权项】：
一种负性含氟聚碳酸酯光刻胶组合物，其特征在于：由含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯和有机溶剂组成，按重量和100％计算，含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯的含量为10～30wt％，其余为有机溶剂；其中，含肉桂酰基的氟化聚碳酸酯的结构式如(1)所示，m为1≤m≤27的整数，n为0≤n≤26的整数。
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