[发明专利]MEMS装置、液体喷射头和它们的制造方法、液体喷射装置在审
| 申请号： | 201610810603.7 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106985523A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 平井荣树;长沼阳一;滨口敏昭;高部本规 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率或品质。该MEMS装置的特征在于，包括压力室形成基板(28)，其形成有作为压力室(30)的贯穿口(30a)；第一基板(33)，其与压力室形成基板(28)层压配置；振动板(31)，其在压力室形成基板(28)与第一基板(33)之间覆盖压力室形成基板(28)且对贯穿口(30a)的一方的开口进行密封；压电元件(32)，其被配置在振动板(31)与第一基板(33)之间并使振动板(31)挠曲变形，压力室形成基板(28)与第一基板(33)相比而较小，且在俯视观察时压力室形成基板(28)的端部被配置在第一基板(33)的端部的内侧。 | ||
| 搜索关键词： | mems 装置 液体 喷射 它们 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，其特征在于，包括：第一基板；第二基板，其与所述第一基板层压配置；功能元件，其被配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第二基板与所述第一基板相比而较小，且在俯视观察时所述第二基板的端部被配置于所述第一基板的端部的内侧。
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