[发明专利]一种微纳机电开关及其制造方法在审
| 申请号： | 201610809521.0 | 申请日： | 2016-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN106298372A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 粟雅娟;曹合适;贾昆鹏;战俊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H11/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙)11370 | 代理人： | 朱海波 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微纳机电开关及其制造方法，其中该微纳机电开关包括：半导体衬底；绝缘层，位于所述半导体衬底之上；位于绝缘层之上的浮置的悬梁臂；位于绝缘层之上的一对驱动电极和一对接触电极，其中一对驱动电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂之间通过气隙隔离，一对接触电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂和驱动电极之间通过气隙隔离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机电 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳机电开关，包括：半导体衬底；绝缘层，位于所述半导体衬底之上；位于绝缘层之上的浮置的悬梁臂；位于绝缘层之上的一对驱动电极和一对接触电极，其中一对驱动电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂之间通过气隙隔离，一对接触电极位于悬梁臂的两侧并且与悬梁臂和驱动电极之间通过气隙隔离。
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