[发明专利]一种掩模板、采用其制备下基板的方法和该方法的应用在审

专利信息
申请号: 201610808968.6 申请日: 2016-09-05
公开(公告)号: CN106444274A 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 周国富;吴昊;李发宏;罗伯特·安德鲁·海耶斯 申请(专利权)人: 深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学;深圳市国华光电研究院
主分类号: G03F1/54 分类号: G03F1/54;G02B26/00
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 代理人: 唐致明
地址: 518110 广东省深圳市龙华新区*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种掩模板、采用其制备下基板的方法和该方法的应用,掩模板包括掩模板主体,掩模板主体上设有透光区域和遮光区域,透光区域的图案与像素墙图案相同,遮光区域为多个呈阵列排列的离散区域,每个遮光区域的边缘区域设有减弱透光量结构;通过设置减弱透光量结构,将掩模板用于制备下基板,遮光区域的边缘区域的曝光量小于透光区域,使用负性光刻胶,曝光量的减小会使得像素墙的壁的横截面形状为倒梯形,在填充的液体的表面张力和倒梯形形成的毛细管力的作用下,填充的液体会铺展在所述像素墙形成的凹陷内,并且倒梯形的像素墙上表面边缘可以有效阻止液体填充后流入相邻像素格,能够实现液体的均匀填充。
搜索关键词: 一种 模板 采用 制备 下基板 方法 应用
【主权项】:
一种掩模板,包括掩模板主体,所述掩模板主体上设有透光区域和遮光区域,其特征在于,所述透光区域的图案与像素墙图案相同,所述遮光区域为多个呈阵列排列的离散区域,每个所述遮光区域的边缘区域设有减弱透光量结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学;深圳市国华光电研究院,未经深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学;深圳市国华光电研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201610808968.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top