[发明专利]CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法和处理系统

摘要

本发明公开了一种CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法和处理系统，该方法包括：读取晶圆表面金属膜厚变化数据；如果最终金属膜厚度的采样信号幅值大于干扰信号幅值，设定第一幅度阈值；根据第一幅度阈值从膜厚数据中获取测量信号段的上升沿和下降沿；根据测量信号段的上升沿和下降沿确定测量信号段的中心位置；根据测量信号段的中心位置取测量信号段中心区间内所有点的平均值作为相应测量信号段的测量值。本发明可有效消除干扰信号的影响，进而计算出实际工艺过程中晶圆表面金属层的厚度变化。

主权项

1.一种CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法，其特征在于，包括以下步骤：提取已采集并保存在指定文件中的晶圆表面金属膜厚变化数据；如果最终金属膜厚度的采样信号的幅值大于干扰信号的幅值，设定第一幅度阈值，其中，所述干扰信号为修整器在线修整抛光垫时电涡流传感器探头感应到的信号，所述第一幅度阈值大于干扰信号的幅值且小于所述最终金属膜厚度的采样信号幅值；根据所述第一幅度阈值，依次读取已获得的全部膜厚数据，并从所述膜厚数据中获取测量信号段的上升沿和下降沿；根据所述测量信号段的上升沿和下降沿确定所述测量信号段的中心位置，具体包括：在每个测量信号段中，以上升沿的第一幅度阈值位置处开始统计采样点个数，以下降沿的第一幅度阈值位置处结束统计，计算出每段信号的信号宽度n；以下降沿的第一幅度阈值位置处后退n/2个点，找到当前测量信号段的中心位置；根据所述测量信号段的中心位置，取所述测量信号段中心区间内所有点的平均值作为对应测量信号段的测量值；如果初始金属膜厚度的采样信号幅值小于所述干扰信号的幅值时，设定第二幅度阈值，所述第二幅度阈值小于最终金属膜厚度的采样信号幅值且大于零点信号幅值；根据所述第二幅度阈值从所述膜厚数据中获取所有非零点信号段的上升沿和下降沿；根据所述所有非零点信号段的上升沿和下降沿计算出所述所有非零点信号段的信号宽度，具体包括：根据所述第二幅度阈值，遍历所获得全部膜厚数据，依次判断各非零信号段的上升沿和对应下降沿，并截取全部非零点信号段，在每个信号段中，以上升沿的所述第二幅度阈值位置处开始统计采样点个数，以下降沿的所述第二幅度阈值位置处结束统计，从而计算出每段信号的信号宽度；根据所述所有非零点信号段的信号宽度确定信号宽度阈值，具体包括：根据干扰信号段的信号宽度和所述测量信号段的信号宽度的分界点确定所述信号宽度阈值；根据所述信号宽度阈值遍历所述膜厚数据，并找出所有有效测量信号段，具体包括：保持所述第二幅度阈值不变，重新遍历全部膜厚数据，依次截取各个非零点信号段并计算各个非零点信号段的信号宽度，计算截取到的每一段测量信号的信号宽度，判断每一段测量信号的信号宽度是否小于信号宽度阈值，如果是，则认定当前信号段为干扰信号段，并放弃本次信号宽度的统计结果，继续寻找下一次非零点信号段的上升沿；否则，认为当前信号段是有效测量信号段；根据所述各有效测量信号段中心区间内所有数据点的平均值作为所述各测量信号段的测量值。