[发明专利]一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置及方法无效
| 申请号： | 201610798372.2 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN106216193A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 无锡荣坚五金工具有限公司 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 214183 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置及方法，属于等离子体技术领域。其特征是，在真空室内放置待处理的基材；通入载体气体和单体蒸汽；微波源产生的微波在放电腔内与电磁线圈或永久磁铁的磁场共同作用发生放电，使单体发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层，微波源连续输出微波进行等离子体态聚合表面涂层，微波源断续输出微波进行等离子体引发聚合表面涂层。通过本发明的装置及方法通入的载体气体压力低，单体扩散良好，从而使得制备的等离子体聚合表面涂层更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 微波 放电 等离子体 聚合 表面 涂层 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置，其特征在于：在真空室(1)的顶部或侧面安装圆柱形放电腔(2)；放电腔(2)外部安装电磁线圈(3)或永久磁铁；放电腔(2)远离真空室的一端安装有微波窗口(4)，并与微波波导(5)一端连接，微波波导(5)另一端连接微波源(6)；载体气体管路(7)一端连接载体气体源(8)，另一端连接放电腔(2)，并在放电腔(2)远离真空室(1)的一端开口；单体蒸汽管路(9)一端连接单体蒸汽源(10)，另一端连接真空室(1)并在真空室(1)内靠近放电腔(2)处开口；真空排气管(11)设置在真空室(1)远离放电腔(2)的一侧，连接真空泵(12)。
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