[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物、平板显示器基板及其制造方法在审
| 申请号： | 201610798259.4 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106547177A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 李喻珍;高京俊;金圣植;金正铉;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 钟晶,金鲜英 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及包含(a)化学式1所表示的仲胺、(b)非质子有机溶剂化合物和(c)伯醇化合物的抗蚀剂剥离液组合物，包括利用该抗蚀剂剥离液组合物对平板显示器基板进行清洗的工序的平板显示器基板的制造方法，及由上述制造方法制造的平板显示器基板。化学式1中，R为C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基等。[化学式1]。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 平板 显示器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含：(a)下述化学式1所表示的仲胺、(b)非质子有机溶剂化合物、和(c)伯醇化合物，[化学式1]上述化学式1中，R为C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基、所述C2～C20的直链或支链烷基、或者C5～C8的环烷基可被羟基、C1～C10的烷氧基、氰基或氟基取代或非取代，n为0～3的整数。
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