[发明专利]一种高效PERC晶体硅太阳能电池的制备方法及工艺

摘要

本发明公开了一种高效PERC晶体硅太阳能电池的制备工艺及方法。依次包括制绒、扩散、刻蚀，镀Al2O3、镀背面SiNx、镀正面SiNx、丝网印刷、烧结步骤，其特征在于：所述制绒和扩散之间还进行酸抛光或碱抛光，所述扩散包括双面扩散和单面扩散，所述镀背面SiNx和镀正面SiNx之间进行激光开槽或开孔。通过双面扩散磷吸杂吸除过渡金属杂质，削减缺陷的电子学效应，减少少数载流子的复合，从而提高少子寿命，实现转换效率的进一步提高，使双面扩散结合酸抛光或碱抛光的方式很好的进行配合，同时通过背面扩散制结，解决电池片刻蚀后镀膜均匀性的问题，从而改善背面渡膜的外观，在成本可控范围内实现PERC电池效率的大幅度提升。

主权项

一种高效PERC晶体硅太阳能电池的制备方法，依次包括制绒、扩散、刻蚀，镀Al2O3、镀背面SiNx 、镀正面SiNx 、丝网印刷、烧结步骤，其特征在于：所述制绒和扩散之间还进行酸抛光或碱抛光，所述扩散包括双面扩散和单面扩散，所述镀背面SiNx 和镀正面SiNx之间进行激光开槽或开孔。