[发明专利]一种亚微米级位移传感器

摘要

本发明公开了一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳和微型处理器,所述顶端堵头的中心处安装有数据连接装置，所述位移连杆机构的一侧安装有光感元件，所述光感元件上安装有发光源，所述微型处理器安装在机体外壳的内部，所述微型处理器的上方安装有驱动控制器，所述驱动控制器的一侧安装有数据采集装置，所述数据采集装置的一侧安装有限位器，所述限位器的右侧安装有编码器，所述编码器的上方安装有激光发生器。本发明设置有光感元件和激光发生器，因此传感器输出信号为绝对位移值，得出的结果精确可靠可以达到亚微米级，由于光感元件是非接触的，不会对传感器造成任何磨损，可以提高检测的可靠性和使用寿命。

主权项

一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳(3)和微型处理器(13),其特征在于：所述机体外壳(3)的一侧安装有顶端堵头(4)，所述顶端堵头(4)的中心处安装有数据连接装置(5)，所述机体外壳(3)的另一侧安装有防尘罩(2)，所述防尘罩(2)的内部安装有位移连杆机构(1)，所述位移连杆机构(1)的下方安装有主体基座(9)，所述位移连杆机构(1)的一侧安装有光感元件(8)，所述光感元件(8)上安装有发光源(7)，所述微型处理器(13)安装在机体外壳(3)的内部，所述微型处理器(13)的上方安装有驱动控制器(12)，所述驱动控制器(12)的一侧安装有数据采集装置(11)，所述数据采集装置(11)的一侧安装有限位器(10)，所述限位器(10)的右侧安装有编码器(15)，所述编码器(15)的上方安装有激光发生器(14)。