[发明专利]一种SF6在线取样用输送装置

摘要

本发明具体涉及一种SF6在线取样用输送装置，其特征在于包括两个储气室和1个半导体制冷片，储气室为扁平结构，两个储气室分别在贴合在半导体制冷片的正面和反面，分别是正面储气室和反面储气室，正面储气室和反面储气室一端通过管路相联，管路上设有第二单向阀，正面储气室的另一端设有出气管，出气管上设有第三单向阀，反面储气室的另一端设有进气管，进气管上设有第一单向阀。本发明具有如下优点：1)SF6气体无污染，测量准确，本发明与气体接触的活动部件少，无需润滑对SF6气体无影响。2)密封严密，运行安全可靠，本发明不存在活动的密封结构，结构简单，活动部件少，可靠性高，气体无泄漏。

主权项

一种SF6在线取样用输送装置，其特征在于包括两个储气室和1个半导体制冷片，储气室为扁平结构，两个储气室分别在贴合在半导体制冷片的正面和反面，分别是正面储气室和反面储气室，正面储气室和反面储气室一端通过管路相联，管路上设有第二单向阀，正面储气室的另一端设有出气管，出气管上设有第三单向阀，反面储气室的另一端设有进气管，进气管上设有第一单向阀。