[发明专利]一种激光SE电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种激光SE电池的制备方法，它包括以下步骤1)用金刚线切割硅片；2)制绒；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，300～500℃通入POCl3混合物2～3min；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，对硅片表面进行激光扫描；7)刻蚀；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。采用激光打点后扩散炉扩散、涂抹有机溶剂激光扫描制备的激光SE电池转换效率高，反射率低，性能最佳。

主权项

一种激光SE电池的制备方法，其特征在于，它包括以下步骤：1)用金刚线切割硅片至所需形状；2)将切割好的硅片置于碱性混合液中制绒；3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理；4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上；5)置于扩散炉，300～500℃通入POCl3混合物2～3min；6)冷却，取出硅片，涂抹有机溶剂，对硅片表面进行激光扫描；所述有机溶剂由以下重量百分比的组分组成：三乙基氧化磷1～5％，磷酸三辛基酯10～15％，余量为异丙醇；7)对激光扫描过的硅片用酸性混合液进行刻蚀；8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜，丝网印刷，完成正面栅线和背面铝背场的烧结。