[发明专利]一种升降机构

摘要

本发明实施例提供一种升降机构，涉及基板承载机械装置领域，能够减少待加工基板在升降过程中的静电击穿现象的发生。该升降机构，用于承载待加工基板，包括多个支杆，支杆的支撑端设置有支承部，支承部用于在升降机构承载待加工基板时通过支承部的支承面与待加工基板相接触。升降机构还包括离子风供应装置，在支杆内部设置有贯通的通道，用于将离子风供应装置输出的离子风输送至支杆的通道内。在支承部上至少位于支承面的位置设置有与支杆的通道相连通的出气孔，离子风供应装置输送的离子风通过出气孔吹向待加工基板。

主权项

1.一种升降机构，用于承载待加工基板，其特征在于，包括多个支杆，所述支杆的支撑端设置有支承部，所述支承部用于在所述升降机构承载所述待加工基板时通过所述支承部的支承面与所述待加工基板相接触；所述升降机构还包括离子风供应装置，在所述支杆内部设置有贯通的通道，用于将所述离子风供应装置输出的离子风输送至所述支杆的通道内；在所述支承部上至少位于支承面的位置设置有与所述支杆的通道相连通的出气孔，所述离子风供应装置输送的离子风通过所述出气孔吹向所述待加工基板；在所述支杆上设置有护罩，所述护罩围绕所述支承部的周边且与所述支承部之间具有间隙，所述护罩的顶端低于所述支承部的顶端；所述护罩的纵截面图形为矩形或梯形，所述梯形的上底边设置于靠近所述支杆的一侧，所述纵截面为所述支杆的中心线所在的平面；所述护罩的横截面图形为圆形，所述横截面为垂直于所述支杆中心线的平面。