[发明专利]一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置有效
| 申请号： | 201610739227.7 | 申请日： | 2016-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN106269452B | 公开（公告）日： | 2018-12-18 |
| 发明（设计）人： | 滕宇;黄金涛;吴仪 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;B08B3/12 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 陶金龙;张磊 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，包括本体和超声波/兆声波频率控制单元，本体内设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，超声波/兆声波发生机构设有若干具有不同固有频率并组合为整体的压电材料，底部石英部件设有石英微共振腔阵列，石英微共振腔阵列自本体下端面的开口伸出，超声波/兆声波频率控制单元连接在信号源和压电材料之间，可通过石英微共振腔阵列对传播方向与晶圆表面方向不垂直的超声波/兆声波能量进行选择性去除，并通过超声波/兆声波频率控制单元将不同频率的电信号随机导入对应的压电材料，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化，实现对图形晶圆的无损伤清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 兆声波 频率控制单元 微共振腔 压电材料 石英 清洗装置 石英部件 多频率 组合式 无损伤清洗 选择性去除 兆声波能量 传播方向 动态变化 固有频率 晶圆表面 振动频率 不垂直 信号源 晶圆 下端 开口 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种组合式多频率超声波/兆声波清洗装置，其特征在于，包括：本体，其中空的内部设有超声波/兆声波发生机构和底部石英部件，所述超声波/兆声波发生机构设有若干压电材料，各所述压电材料具有不同的固有频率，并均匀组合在一起形成整体，所述压电材料连接本体外的信号源，所述底部石英部件设有由多个垂直棒状石英结构组成的石英微共振腔阵列，所述石英微共振腔阵列自所述本体下端面的开口伸出；超声波/兆声波频率控制单元，连接设于信号源和压电材料之间，用于控制将形成的与各压电材料固有频率一一对应的信号源输出电信号随机导入对应的各压电材料；其中，所述压电材料接收电信号产生超声波能量，经底部石英部件向下传导，并经石英微共振腔阵列的选择性去除后，通过没入图形晶圆上清洗药液中的所述石英微共振腔阵列的下端面垂直传导至图形晶圆表面，带动清洗药液振荡，以进行超声波/兆声波移动清洗，同时，通过所述超声波/兆声波频率控制单元将不同频率的电信号随机导入对应的压电材料，使超声波/兆声波发生机构产生的超声波/兆声波振动频率动态变化，以防止在清洗药液中产生稳定的干涉作用及气泡破裂现象。
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