[发明专利]一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法

摘要

一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法，包括以下实施步骤，首先清洗刚轮，干燥后放入四靶微弧离子镀设备真空室中，抽真空后，通氩气，经过离子轰击清洗完毕后，然后进行镀膜，开启若干铬靶和石墨靶，依次沉积纯铬打底层、过渡层及类石墨工作层。本发明方法处理的刚轮具有自润滑功能，用于谐波减速器上，获得高速高承载、低摩擦的特性，从而达到“减磨延寿”的效果。

主权项

一种谐波减速器用刚轮离子镀类石墨自润滑膜层的方法，其特征在于：包括如下步骤：步骤1、首先对待镀刚轮进行超声波除蜡和除油清洗，利用压缩空气吹干机吹干后将刚轮放入四靶微弧离子镀设备的真空室中，所述真空腔室内放置有铬靶材和纯石墨靶材，将真空腔室抽真空使真空腔室的真空度小于6.0×10‑3Pa，并往真空腔室内通入氩气，气体流量为7sccm～100sccm，保持真空腔室中的工作气压为1.0×10‑3Pa～8.0×10‑3；步骤2、对步骤1真空室中的刚轮进行离子轰击清洗，保持真空腔室中的工作气压为1.0×10‑3Pa～8.0×10‑3，此步骤中控制参数如下：直接对铬靶材施加0.01A～0.5A的电流，对石墨靶材施加0.01A～0.3A的电流，并对刚轮施加100V～400V的负偏压、脉冲宽度为0.2μs～5μs，脉冲频率为25KHz～350KHz，轰击清洗时间为10min～60min；步骤3、沉积形成纯铬打底层，在步骤2离子清洗后持续通入氩气，并保持真空腔室中的工作气压为1.0×10‑3Pa～8.0×10‑3，调节铬靶材的靶电流至0.1A～5A，调节石墨靶材的电流为0A，同时调节施加在刚轮上的负偏压至50V～200V，脉冲宽度为0.2μs～5μs，脉冲频率为25KHz～350KHz，持续时间为10min～40min沉积形成纯铬打底层；步骤4、沉积形成过渡层，在步骤3后持续通入氩气，并保持真空腔室中的工作气压为1.0×10‑3Pa～8.0×10‑3，调节铬靶材的靶电流至0.05A～2A，同时调节石墨靶材的靶电流至0.05A～5A；同时，在刚轮上施加50V～200V的负偏压，脉冲宽度为0.2μs～5μs，脉冲频率为25KHz～350KHz，持续时间为10min～60min沉积形成过渡层；步骤5、沉积形成类石墨工作层，此步骤中持续通入氩气，并保持真空腔室中的工作气压为1.0×10‑3Pa～8.0×10‑3；保持铬靶材和石墨靶材的电流和电压参数不变；在刚轮上施加50V～200V的负偏压，脉冲宽度为0.2μs～5μs，脉冲频率为25KHz～350KHz，持续时间为30min～360min沉积形成类石墨工作层，类石墨工作层即为石墨自润滑膜层。