[发明专利]窄边框显示面板、薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种窄边框显示面板、薄膜晶体管及其制备方法，其中通过对薄膜晶体管多晶硅层的源极区域及漏极区域的垂直拐角进行切削，以使得切削后的拐角与沟道区域边缘的距离大于切削前的拐角与沟道区域边缘之间的距离，从而可以实现在不改变显示面板大小的前提下，有效改善薄膜晶体管在制程偏差时源极与漏极之间的导通电阻失衡的问题。

主权项

1.一种薄膜晶体管的制备方法，其特征在于，包括：提供衬底基板；在所述衬底基板上形成多晶硅层，所述多晶硅层包括沟道区域、源极区域以及漏极区域，所述源极区域和/或所述漏极区域存在拐角；对所述多晶硅层进行沟道掺杂；对所述源极区域及所述漏极区域进行重掺杂；在所述沟道区域上设置栅极金属层；在所述源极区域和所述漏极区域上设置源漏极金属层；其中，进一步包括：对所述拐角进行切削，以使得切削后的拐角与所述沟道区域边缘的距离大于切削前的拐角与所述沟道区域边缘之间的距离。