[发明专利]一种智能源挡板系统及其制备硬质涂层的方法有效
| 申请号： | 201610725833.3 | 申请日： | 2016-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN106148905B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 董骐;罗蓉平;赵海波;李常彬;孙丁浩 | 申请（专利权）人： | 北京丹鹏表面技术研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/56;C23C14/06 |
| 代理公司： | 11308 北京元本知识产权代理事务所 | 代理人： | 范奇 |
| 地址： | 100085 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种智能源挡板系统及其制备硬质涂层的方法，系统包括真空室、圆形齿圈、智能源挡板、齿轮减速电机和磁流体密封传动轴。方法包括：(1)涂层前的处理；(2)抽真空；(3)启动氩离子轰击清洗；(4)继续抽高真空达到4.0～9.0x10 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 挡板 系统 及其 制备 硬质 涂层 方法 | ||
【主权项】：
1.一种智能源挡板系统制备硬质涂层的方法，其特征在于，具体操作流程为：/n(1)涂层前的处理/n镀膜前，将高速钢或硬质合金刀具经过除油、除锈、喷砂和清洗剂超声波清洗，再经过表面脱水和干燥处理，然后置于镀膜室内；/n(2)抽真空/n对真空室抽真空至3.0～0.8x10
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