[发明专利]氮化物陶瓷覆铜板的图形化方法及氮化物陶瓷覆铜板

摘要

一种氮化物陶瓷覆铜板的图形化方法及氮化物陶瓷覆铜板。在氮化物陶瓷覆铜板的表面设置图形化抗蚀层，氮化物陶瓷覆铜板是利用活性钎焊法制作形成；利用第一蚀刻液对氮化物陶瓷覆铜板进行第一次蚀刻处理，第一蚀刻液包括CuCl2溶液或FeCl3溶液；利用第二蚀刻液对经过第一次蚀刻处理的氮化物陶瓷覆铜板进行第二次蚀刻处理；以及利用第三蚀刻液对经过第二次蚀刻处理的氮化物陶瓷覆铜板进行第三次蚀刻处理。本发明蚀刻效率高，蚀刻均一无残渣，提高蚀刻品质，并且金属层板面状态良好。

主权项

一种氮化物陶瓷覆铜板的图形化方法，其特征在于，其包括：在氮化物陶瓷覆铜板的表面设置图形化抗蚀层，所述氮化物陶瓷覆铜板是利用活性钎焊法制作形成；利用第一蚀刻液对所述氮化物陶瓷覆铜板进行第一次蚀刻处理，所述第一蚀刻液包括CuCl2溶液或FeCl3溶液；利用第二蚀刻液对经过所述第一次蚀刻处理的所述氮化物陶瓷覆铜板进行第二次蚀刻处理，所述第二蚀刻液按质量百分比计包括：2％‑3％的Fe(NO3)3，1％‑5％的HNO3，其余组分为水；以及利用第三蚀刻液对经过所述第二次蚀刻处理的所述氮化物陶瓷覆铜板进行第三次蚀刻处理，所述第三蚀刻液按质量百分比计包括：5％‑30％的H2O2，1％‑4％的有机膦酸化合物，0.1％‑3％的磷酸，0.1％‑2％唑类化合物，其余组分为水。