[发明专利]γ-TiAl合金表面(Al2O3+Y2O3)/AlYMoSi多层结构涂层及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201610717410.7 申请日: 2016-08-25
公开(公告)号: CN106256928B 公开(公告)日: 2018-09-04
发明(设计)人: 徐一;刘万辉;吴佳惠;孙德勤;周雪峰;王剑;卢斌峰;蒋操 申请(专利权)人: 常熟理工学院
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/08
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 邹伟红
地址: 215500 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种γ‑TiAl合金表面(Al2O3+Y2O3)/AlYMoSi多层结构涂层及其制备方法,该涂层包括表层(Al2O3+Y2O3)陶瓷层和次表层AlYMoSi合金层,所述的表层和次表层依次交替排列形成所述的多层结构涂层,所述的多层结构涂层通过AlYMoSi合金层与基体γ‑TiAl合金表面连接,其步骤为:采用磁控溅射技术,通过分别对(Al2O3+Y2O3)靶材和AlYMoSi靶材交替进行溅射,通过对工作气压、溅射功率、以及靶材‑基体间距等工艺参数的调节与控制,在基体γ‑TiAl合金表面形成(Al2O3+Y2O3)/AlYMoSi多层结构涂层。该方法效率高、工艺简单,且制备的(Al2O3+Y2O3)/AlYMoSi多层结构高温防护涂层结构致密、性能优良。
搜索关键词: tial 合金 表面 al2o3 y2o3 alymosi 多层 结构 涂层 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种γ‑TiAl合金表面Al2O3+Y2O3/AlYMoSi多层结构涂层,其特征在于,包括表层Al2O3+Y2O3陶瓷层和次表层AlYMoSi合金层,所述的表层和次表层依次交替排列形成所述的多层结构涂层,所述的多层结构涂层通过AlYMoSi合金层与基体γ‑TiAl合金表面连接。
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