[发明专利]一种晶体硅块表面研磨及杂质检测一体化装置在审
| 申请号: | 201610716409.2 | 申请日: | 2016-08-24 |
| 公开(公告)号: | CN106124525A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
| 发明(设计)人: | 张涛 | 申请(专利权)人: | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;B08B3/02;B24B37/04 |
| 代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
| 地址: | 212200 江苏省镇*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种晶体硅块表面研磨及杂质检测一体化装置,包括粗磨机、精磨设备、清洗干燥装置、红外探测装置及带轮机;其中,所述带轮机设置有传送履带,传送履带用于放置硅块;传送履带的侧面沿着传送履带的运行方向依次设置有粗磨机、精磨设备、清洗干燥装置及红外探测装置;所述红外探测装置包括两个机械臂、红外光源、红外摄像头以及计算机存储设备,其中红外光源、红外摄像头相对设置在传送履带的两侧,红外摄像头通过数据线连接到所述计算机存储设备上;两个机械臂用于夹持住硅块的两端,通过伺服电机控制两个机械臂转动。本发明节省人工,操作简单,提高了检测效率,减少了晶砖划伤、崩边的可能,增强了硅块杂质检测的清晰度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 晶体 表面 研磨 杂质 检测 一体化 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体硅块表面研磨及杂质检测一体化装置,其特征在于,包括粗磨机(2)、精磨设备(3)、清洗干燥装置、红外探测装置及带轮机(11);其中,所述带轮机(11)设有传送履带,传送履带用于放置硅块(1);传送履带的侧面沿着传送履带的运行方向依次设置有粗磨机(2)、精磨设备(3)、清洗干燥装置及红外探测装置;所述清洗干燥装置包括清洗机(4)、烘干机(5),相对设置在传送履带的两侧;所述红外探测装置包括两个机械臂(6,7)、红外光源(8)、红外摄像头(9)以及计算机存储设备,其中红外光源(8)、红外摄像头(9)相对设置在传送履带的两侧,红外摄像头(9)通过数据线连接到所述计算机存储设备上;两个机械臂(6,7)用于夹持住硅块(1)的两端,通过伺服电机控制两个机械臂(6,7)转动。
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