[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201610711557.5 | 申请日： | 2016-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN106229338A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李嘉;刘洋 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L21/336;H01L29/786 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)44280 | 代理人： | 李庆波 |
| 地址： | 518006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制备方法，通过在薄膜晶体管的衬底基板与顶栅器件至少设置至少两层透明绝缘层，并且由该至少两层透明绝缘层组成布拉格反射镜。通过上述方式，本发明可以避免背光源发出的光影响薄膜晶体管中的半导体材料，有效改善产品性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底基板；设置于所述衬底基板上的至少两层透明绝缘层，并且任意相邻两层所述透明绝缘层的折射率不相同；设置于所述至少两透明绝缘层上的顶栅器件；其中，所述至少两层透明绝缘层组成了布拉格反射镜。
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