[发明专利]一种二维材料调控硅碳复合结构阻氢涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201610708970.6 | 申请日： | 2016-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN106283052B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王玫;牛栋华;黄安平 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人： | 王顺荣;唐爱华 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种二维材料调控硅碳复合结构阻氢涂层，其特征在于：该涂层结构包括硅碳复合物和二维材料；其中，二维材料涂层为二维结构的石墨烯、六方氮化硼或二硫化钼层层堆垛而成，层数范围为1‑10层，二维材料涂层厚度范围为0.34‑28nm；其中，硅碳复合物采用碳化硅靶材溅射而成，厚度范围为0.5‑2μm。其制备方法为：二维材料分别采用化学气相沉积CVD和离子束溅射沉积IBSD工艺并结合刻蚀转移技术制备。采用了复合涂层技术，比单一涂层阻氢效果更优异；在原有硅碳复合物阻氢涂层的基础上，首次提出引入二维材料；采用现有的技术方法，设计并制备不同形式的复合结构，包括层数的。 | ||
| 搜索关键词： | 二维材料 制备 硅碳复合物 复合结构 硅碳 离子束溅射沉积 化学气相沉积 六方氮化硼 单一涂层 二硫化钼 二维结构 复合涂层 碳化硅靶 涂层结构 石墨烯 调控 堆垛 溅射 刻蚀 引入 | ||
【主权项】：
1.一种二维材料调控硅碳复合结构阻氢涂层，其特征在于：该涂层结构包括硅碳复合物和二维材料；其中，二维材料涂层为二维结构的石墨烯、六方氮化硼或二硫化钼层层堆垛而成，层数范围为1‑10层，二维材料涂层厚度范围为0.34‑28nm；其中，硅碳复合物采用碳化硅靶材溅射而成，厚度范围为0.5‑2μm。
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