[发明专利]一种锆钛酸钡陶瓷厚膜及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种锆钛酸钡陶瓷厚膜及其制备方法。所述BaZr_xTi_(1‑x)O₃陶瓷厚膜，其中x＝0.05～0.30，所述陶瓷厚膜的厚度为5～50μm。采用流延法按所需锆钛酸钡化学计量比，以碳酸钡、二氧化钛和二氧化锆经过常压空气烧结工艺制成厚度为5～50μm的锆钛酸钡陶瓷膜。本发明的方法简便，制作成本低，周期短，易于工业流程化生产。可制备多层陶瓷器件所需的各单层厚膜，广泛应用于传感器、固态制冷以及储能器件领域。

主权项

1.一种锆钛酸钡陶瓷厚膜，其特征在于，其分子式为BaZr_xTi_(1‑x)O₃，其中x＝0.05～0.30；所述陶瓷厚膜的厚度为5～50μm；所述锆钛酸钡陶瓷厚膜的制备方法，包括如下具体步骤：S1.将BaCO₃、ZrO₂和TiO₂原料按化学计量比为BaZr_xTi_(1‑x)O₃，x＝0.05～0.30进行配料，加入无水乙醇和锆球，行星球磨12～24h得到混匀物料后，滤出浆料，烘干，得到原料混合的干粉；S2.将S1所得原料混合的干粉在1230～1280℃预烧2h，经过二次球磨8～12h，按一定配比加入粘结剂、分散剂、塑化剂和有机溶剂与锆球混合滚磨36～48h，流延成膜带；S3.将膜带切割成所需形状生陶瓷片，常压空气气氛下在1300～1400℃烧结2～10h，得到锆钛酸钡陶瓷厚膜；其中，步骤S2中所述粘结剂为PVB或PVA；所述分散剂为甲苯、磷酸酯、鲜鱼油或乙基纤维素；所述塑化剂为邻苯二甲酸二异丁酯、聚乙二醇或乙二醇；所述有机溶剂为乙醇、甲苯或二甲苯；所述粘结剂：分散剂：塑化剂：有机溶剂的质量比为(0.1～0.2)：1：1：(0.05～0.15)。