[发明专利]一种基板翘曲量的测量装置及方法在审
| 申请号： | 201610687178.7 | 申请日： | 2016-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN106247967A | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋学兵 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 李相雨 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板翘曲量的测量装置及方法，用于测量显示母板的基板翘曲量，所述显示母板包括相对而置的第一基板和第二基板，所述测量装置包括：光源、测量目镜及处理器；所述光源，用于向所述显示母板的待测量区域发射单色光，形成牛顿环干涉图案；所述测量目镜，用于采集所述牛顿环干涉图案，并测量出所述牛顿环干涉图案中每条干涉条纹的直径及对应的级数；所述处理器，与所述测量目镜连接，用于根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条干涉条纹处的空气层厚度，以获得所述显示母板的待测量区域的翘曲量。本发明能够判定显示区域边缘处的发黄程度，进而在制程中对局部发黄进行监控，避免资材浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基板翘曲量 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板翘曲量的测量装置，用于测量显示母板的基板翘曲量，所述显示母板包括相对而置的第一基板和第二基板，其特征在于，所述测量装置包括：光源、测量目镜及处理器；所述光源，用于向所述显示母板的待测量区域发射单色光，在所述待测量区域的基板翘曲位置形成牛顿环干涉图案；所述测量目镜，用于采集所述牛顿环干涉图案，并测量出所述牛顿环干涉图案中每条干涉条纹的直径及对应的级数；所述处理器，与所述测量目镜连接，用于根据每条干涉条纹的直径、对应的级数及所述单色光的波长，得到每条干涉条纹处的空气层厚度，以获得所述显示母板的待测量区域的翘曲量；其中，所述显示母板的待测量区域包括：水平的第二基板和向所述第二基板凹陷呈曲面的第一基板。
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