[发明专利]一种薄膜倒装发光组件的制作方法及其薄膜倒装发光组件

摘要

本发明公开了一种薄膜倒装发光组件的制作方法及其薄膜倒装发光组件，包括：提供一发光外延片，所述发光外延片由生长衬底和发光外延叠层构成；提供一绝缘散热基座，并在基座上制作正负键合电极，所述正负键合电极中间的高度差部分采用填充物填平；根据电极对应位置，将发光外延片倒装键合在所述散热基座的键合电极上；剥离所述发光外延片的生长衬底，整面旋涂荧光粉，覆盖所述发光外延叠层；将所述发光外延片进行单一化处理，裸露出散热基座的正负键合电极，形成薄膜倒装发光组件。

主权项

1.一种薄膜倒装发光组件的制作方法，包括工艺步骤：1）提供一发光外延片，所述发光外延片由生长衬底和发光外延叠层构成；2）通过蚀刻部分发光外延叠层形成第一电极区，以及在发光外延叠层表面形成反射层，作为第二电极区；3）分别在第一电极区和第二电极区上形成第一电极和第二电极，所述第一、第二电极中间采用第一绝缘层隔开，第一、第二电极的高度差部分采用第二绝缘层填平；4）提供一绝缘散热基座，并在基座上制作正负键合电极，所述正负键合电极中间的高度差部分采用填充物填平；5）根据电极对应位置，将发光外延片倒装键合在所述散热基座的键合电极上；6）剥离所述发光外延片的生长衬底，整面旋涂荧光粉，覆盖所述发光外延叠层；7）将所述发光外延片进行单一化处理，裸露出散热基座的正负键合电极，形成薄膜倒装发光组件。