[发明专利]一种激光退火装置及其控制方法

摘要

本发明实施例提供一种激光退火装置及其控制方法，涉及薄膜制备技术领域。通过调光元件的开启和关闭，控制激光器照射在调光板上对应位置的发射源的通过或阻断，以在待退火膜层上形成与预设退火图案相匹配的退火图案，对待退火膜层进行退火。退火图案能够根据预设退火图案进行相应的调整改变，实现同一激光退火装置的多产品共用，节省了对每款产品配备专用退火掩膜版的生产成本。

主权项

一种激光退火装置，其特征在于，包括：激光器，所述激光器设置有多个发射源；调光板，所述调光板设置于所述激光器与待退火膜层之间，所述调光板上安装有多个呈矩阵形式排列的调光元件；其中，所述调光板上的至少一部分调光元件与所述发射源的位置一一对应，所述调光元件在开启状态下，用于使与该调光元件位置对应的发射源发出的激光照射至所述待退火膜层，或在关闭状态下，用于对与该调光元件对应位置的发射源发出的激光进行阻断。