[发明专利]一种大面积钙钛矿太阳能电池的制作方法及系统

摘要

本发明提供一种大面积钙钛矿太阳能电池的制作方法，首先在FTO玻璃上激光划线，之后制备空穴传输层，然后在第一蒸发室制备碘化铅或者氯化铅，然后在第二蒸发室制备甲基胺碘，反应形成钙钛矿薄膜，最后喷涂法制备电子传输层，之后激光划线P2，最后制备金属电极，激光划线P3形成大面积钙钛矿组件。本发明还提供一种大面积钙钛矿太阳能电池的制作系统，包括进样室，第一蒸发室，第二蒸发室，空穴传输层制备室，金属电极制备室等。可以大大提高了钙钛矿太阳能电池的大面积均匀性和制备速率。

主权项

1.一种大面积钙钛矿太阳能电池的制作系统，其特征在于，包括：空穴传输层制备室、进样室、第一蒸发室、第二蒸发室和金属电极制备室，所述进样室与所述第一蒸发室连通，所述第一蒸发室和第二蒸发室连通，所述进样室与所述第一蒸发室之间设有第一传递门，所述第一蒸发室和第二蒸发室之间设有第二传递门，所述进样室连通有第一真空泵组，所述第一蒸发室连通有第二真空泵组，所述第二蒸发室连通有第三真空泵组，所述第一蒸发室内设有蓬头、升华罐、用于对升华罐抽真空的真空泵和惰性气体输入装置，所述蓬头具有多个孔状结构，相邻两个所述孔状结构的间距为1cm，所述孔状结构的孔径为200‑500um，所述蓬头与升华罐相连接，所述升华罐的底部设有高为0.5cm、直径为0.5cm的圆柱状凸起，所述升华罐连接真空泵，所述惰性气体输入装置连接所述升华罐。