[发明专利]安装头清洗装置

摘要

提供一种安装头清洗装置，能够将具备回转头的安装头自身安设于清洗单元，并且，不仅能够进行安装头内的空气通路的清洗，而且在清洗后能够检查安装头的性能。以能够装卸的方式安装安装头(47)的清洗单元(90)具备：切换单元(105、115)，将由空气供给源(101)供给的空气选择性地向清洗用通路(116、117)或检查用通路(106)供给；导入单元(131、132、133)，从由切换单元选择的清洗用通路或检查用通路，向与多个吸嘴(55)分别连接的安装头内的各负压空气通路(85)导入空气；及空气测定单元(108、112)，设置在检查用通路中。

主权项

1.一种安装头清洗装置，对安装头进行清洗和检查，所述安装头具有吸附元件的吸嘴，所述安装头清洗装置具备：头夹紧装置，安装从元件安装机拆下的所述安装头；空气测定单元，由流量测定传感器及真空压力测定传感器构成；及控制装置，连接有对安装于所述头夹紧装置的所述安装头的R轴电动机、θ轴电动机及Z轴电动机进行控制的电动机控制单元，并且连接有用于所述检查循环的所述流量测定传感器及所述真空压力测定传感器,通过控制所述电动机控制单元、所述流量测定传感器及所述真空压力测定传感器来执行处理安装于所述头夹紧装置的所述安装头的清洗循环和检查循环。