[发明专利]合金材料用研磨组合物及合金材料的研磨方法有效
申请号: | 201610663320.4 | 申请日: | 2016-08-12 |
公开(公告)号: | CN106281220B | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 高桥洋平;天高恭祐;镰田透;森永均 | 申请(专利权)人: | 福吉米株式会社 |
主分类号: | C09K3/14 | 分类号: | C09K3/14 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人: | 刘新宇,李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及合金材料用研磨组合物及合金材料的研磨方法,提供提高了合金材料的研磨特性的合金材料研磨组合物及使用其的合金材料的研磨方法。本发明的合金材料用研磨组合物将合金材料作为研磨对象,且含有氧化铝颗粒,所述氧化铝颗粒具有以下的粒径分布将体积基准的累积粒径分布的自大粒径侧起的累积体积为10%、50%、90%的粒径分别设为D10、D50、D90时,D50为3.1~12μm、D10与D90的差除以D50得到的值为0.7~2.4。 | ||
搜索关键词: | 合金材料 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】:
一种合金材料用研磨组合物,其将合金材料作为研磨对象,且含有氧化铝颗粒和水,所述氧化铝颗粒具有以下的粒径分布:将体积基准的累积粒径分布的自大粒径侧起的累积体积为10%、50%、90%的粒径分别设为D10、D50、D90时,D50为3.1~12μm、D10与D90的差除以D50得到的值为0.7~2.4。
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