[发明专利]一种适用于多晶硅片的倒片机卸片装置

摘要

本发明提供一种适用于多晶硅片的倒片机卸片装置，所述的支座本体设置于操作台的底部，所述的操作台的上表面设置有凹槽，并在凹槽上卡接有装片盒，所述的凹槽底部设置有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部设置有吸盘，并在伸缩杆的内部贯穿设置有通气管道，所述的伸缩杆的底部与水平设置在操作台上的硅片输送装置相互连接，所述的硅片输送装置为两个相互平行设置的滑槽结构组成。通过装置在进行装片盒卸片时，控制伸缩杆的升降，使得吸盘与多晶硅片原件接触，再通过通气管道的抽气操作，使得吸盘接触的空气抽空，然后使得伸缩杆在滑槽上移动，达到安全卸片，整个装置设计合理，操作便捷，可被进一步推广应用。

主权项

一种适用于多晶硅片的倒片机卸片装置，包括支座本体、操作台、硅片输送装置、装片盒，其特征在于，所述的支座本体设置于操作台的底部，所述的操作台的上表面设置有凹槽，并在凹槽上卡接有装片盒，所述的凹槽底部设置有伸缩杆，所述伸缩杆的顶部设置有吸盘，并在伸缩杆的内部贯穿设置有通气管道，所述的伸缩杆的底部与水平设置在操作台上的硅片输送装置相互连接，所述的硅片输送装置为两个相互平行设置的滑槽结构组成。