[发明专利]怀特池的调节装置及方法有效
| 申请号: | 201610646667.8 | 申请日: | 2016-08-09 |
| 公开(公告)号: | CN106290158B | 公开(公告)日: | 2023-09-05 |
| 发明(设计)人: | 陶俊;李娜;向少卿;孙文婷;李一帆 | 申请(专利权)人: | 上海禾赛科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/03 | 分类号: | G01N21/03;G01N21/31 |
| 代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 肖丁 |
| 地址: | 201821 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种怀特池的调节装置及方法,调节装置包括:二维调节架;马达设置在二维调节架上,根据计算模块传送来的调整量去二维调节怀特池内与曲率半径较大的反射镜相对的二个曲率半径较小的反射镜中的至少一个;面阵探测器设置在怀特池的出射光光路上,得出出射光光斑在面阵探测器上的位置;存储器存储马达的调整量与面阵探测器上光斑移动距离之间的映射关系;计算模块根据所述位置、设定位置得出偏差,并根据所述映射关系得出与偏差对应的马达的调整量,该调整量送所述马达。本发明具有精度高、结构简单、低成本等优点。 | ||
| 搜索关键词: | 怀特 调节 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种怀特池的调节装置,其特征在于:所述怀特池的调节装置包括:二维调节架;马达,所述马达设置在所述二维调节架上,根据计算模块传送来的调整量去二维调节所述怀特池内与曲率半径较大的反射镜相对的二个曲率半径较小的反射镜中的至少一个;面阵探测器,所述面阵探测器设置在怀特池的出射光光路上,得出出射光光斑在所述面阵探测器上的位置,并送计算模块;存储器,所述存储器存储所述马达的调整量与面阵探测器上光斑移动量之间的映射关系;计算模块,所述计算模块根据所述位置、设定位置得出偏差,并根据所述映射关系得出与所述偏差对应的马达的调整量,该调整量送所述马达。
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