[发明专利]多自由度解耦驱动的气/固复合式高精度直线运动基准装置

摘要

多自由度解耦驱动的气/固复合式高精度直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括从动系统、解耦系统和驱动系统；从动系统包括固体摩擦器、气浮导套、光电读数头、光栅尺、限位块、限位传感器和精密气浮导轨；解耦系统包括导轨连接部件、滚珠保持架、解耦支架、滚珠和块规A；驱动系统包括驱动电机、主动轮、传动带和从动轮；固体摩擦器包括摩擦块、固定板、摩擦压紧块、顶钉、弹簧、调整螺套和摩擦架；解耦系统两端分别与驱动系统的传动带和从动系统的精密气浮导轨固连；本发明有效解决了驱动系统对从动系统的干扰问题，建立了一种基于多自由度解耦的气/固复合式高精度直线运动基准装置。

主权项

1.一种多自由度解耦驱动的气/固复合式高精度直线运动基准装置,其特征在于：该装置包括从动系统(A)、解耦系统(B)和驱动系统(C)，从动系统(A)和驱动系统(C)通过解耦系统(B)相连接；从动系统(A)包括固体摩擦器(1)、气浮导套(2)、光电读数头(3)、光栅尺(4)、限位块(5)、限位传感器(6)和精密气浮导轨(7)；解耦系统(B)包括导轨连接部件(12)、滚珠保持架(13)、解耦支架(14)、滚珠(15)和块规A(16‑1)；驱动系统(C)包括驱动电机(8)、主动轮(9)、传动带(10)和从动轮(11)；固体摩擦器(1)包括摩擦块(17)、固定板(18)、摩擦压紧块(19)、顶钉(20)、弹簧(21)、调整螺套(22)和摩擦架(23)；解耦系统(B)两端分别与驱动系统(C)的传动带(10)和从动系统(A)的精密气浮导轨(7)固连；从动系统(A)的两个气浮导套(2)平行安装，精密气浮导轨(7)配装在气浮导套(2)的内侧，在精密气浮导轨(7)上沿X运动方向安装有光栅尺(4)，气浮导套(2)上安装有与光栅尺(4)配合使用的光电读数头(3)；精密气浮导轨(7)上安装有限位块(5)，气浮导套(2)上安装有与限位块(5)配合使用的限位传感器(6)；固体摩擦器(1)的固定板(18)与气浮导套(2)相固连，摩擦架(23)与固定板(18)相固连，摩擦压紧块(19)配置在摩擦架(23)的凹槽内，摩擦块(17)与摩擦压紧块(19)紧密接触配合，弹簧(21)的两端分别与顶钉(20)和调整螺套(22)接触配合；解耦系统(B)上的块规A(16‑1)固定在解耦支架(14)的内侧；滚珠保持架(13)固定在块规A(16‑1)上；滚珠(15)固定在滚珠保持架(13)内，并与导轨连接部件(12)外侧的块规B(16‑2)接触配合；驱动系统(C)上的驱动电机(8)与主动轮(9)轴连；从动轮(11)的主轴与主动轮(9)的主轴水平平行安装；传动带(10)紧密环绕接触在主动轮(9)和从动轮(11)上。