[发明专利]一种塑封电子元器件的预开封方法有效
申请号: | 201610642225.6 | 申请日: | 2016-08-08 |
公开(公告)号: | CN106098571B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 王珍;于海涛;李新贵 | 申请(专利权)人: | 湖北三江航天红峰控制有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人: | 李智 |
地址: | 432000 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于塑封电子元器件的预开封方法,包括:采集已定位在工作台上的待预开封器件的图像;对采集的图像进行处理,划定预开封区域;对划定的预开封区域分别在两个不同方向进行直线填充,生成两组直线段组;对填充的每组直线段组进行分段插补,生成对应于两个方向上的激光光束运动轨迹数据;根据两个方向上的激光光束运动轨迹数据交替对器件进行烧蚀扫描,并在每次扫描完成后将激光烧蚀扫描后预开封区域的图像与预开封区域的参考基准图像进行比较,直至器件刚刚暴露出内部引线键合丝或芯片,即完成器件预开封。本方法在精确快速地实现对塑封器件预开封的同时不会对器件内部引线键合丝或芯片产生损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 塑封 电子元器件 开封 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用于塑封电子元器件的预开封方法,其包括:S1采集已定位在工作台上的待预开封电子元器件的图像;S2对采集的图像进行处理,根据电子元器件中的元件的大小、位置及深度信息在图像上划定预开封区域;S3对划定的预开封区域分别在两个不同方向进行直线填充,以生成覆盖所述预开封区域的两组直线段组,其中每组直线段组由其中一个方向上填充的直线组成;S4对填充的每组直线段组进行分段插补,从而生成对应于两个方向上的激光光束运动轨迹数据;S5根据所述两个方向上的激光光束运动轨迹数据交替对电子元器件进行烧蚀扫描,即每次以其中一个方向上的激光光束运动轨迹数据扫描整个所述预开封区域而下一次以另一个方向上的激光光束运动轨迹数据扫描整个所述预开封区域,并在每次扫描完成后将所述预开封区域的图像与预开封区域的参考基准图像进行比较,直至电子元器件刚刚暴露出内部引线键合丝或芯片,结束扫描,即完成电子元器件预开封;其中,所述电子元器件刚刚暴露出内部引线键合丝或芯片的判断依据为:所述激光烧蚀扫描后预开封区域的图像中出现孤立目标、或所述激光烧蚀扫描后预开封区域的图像与所述预开封区域的参考基准图像的灰度变化大于预先设定的差值。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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