[发明专利]压电元件、压电元件应用设备、以及压电元件的制造方法在审
申请号: | 201610640074.0 | 申请日: | 2016-08-04 |
公开(公告)号: | CN106427217A | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 酒井朋裕 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 舒艳君;李洋 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种压电元件,具备:第一电极;压电体层,设置于所述第一电极,由优先取向于面的钙钛矿型结构的复合氧化物的结晶形成;以及第二电极,设置于所述压电体层,由优先取向于面的铂形成,所述压电体层的所述第二电极侧的结晶的面间隔(L2)大于所述第一电极侧的结晶的面间隔(L1)。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 应用 设备 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种压电元件,其特征在于,该压电元件具备:第一电极;压电体层,设置于所述第一电极,由优先取向于(100)面的钙钛矿型结构的复合氧化物的结晶形成;以及第二电极,设置于所述压电体层,由优先取向于(100)面的铂形成,在所述压电体层中,所述第二电极侧的结晶的面间隔大于所述第一电极侧的结晶的面间隔。
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