[发明专利]一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺在审
| 申请号： | 201610632643.7 | 申请日： | 2016-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN106048734A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 肖贵云;陈伟;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，包括：在第一预设时间内，将长晶结束后的多晶硅铸锭温度降至退火温度；在所述退火温度下，将所述多晶硅铸锭保温，持续第二预设时间；将退火完成的所述多晶硅铸锭以1.5℃/min至5℃/min的速率进行冷却，所述冷却过程持续第三预设时间。本申请提供的上述多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，能够降低多晶硅铸锭的位错缺陷水平，有效提升多晶硅铸锭的品质，同时减少运行周期，提高多晶铸锭炉台生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 快速 退火 冷却 工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭快速退火冷却工艺，其特征在于，包括：在第一预设时间内，将长晶结束后的多晶硅铸锭温度降至退火温度；在所述退火温度下，将所述多晶硅铸锭保温，持续第二预设时间；将退火完成的所述多晶硅铸锭以1.5℃/min至5℃/min的速率进行冷却，所述冷却过程持续第三预设时间。
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