[发明专利]一种大面积低温等离子体发生装置

摘要

本发明是一种大面积低温等离子体发生装置，其结构包括控制电路、高压电源、阻抗匹配器、绝缘手柄、高压母接头、高压电极、待处理物；其中，高压电源的输出口负极接地，高压电源的输出口正极与阻抗匹配器的输入端相连；阻抗匹配器的输出端通过高压导线与绝缘手柄内部的高压母接头的一端相连；高压母接头的另一端与高压电极相连；高压电源和市电之间接有控制电路。优点1、整体装置结构紧凑，装置成本可控，故障率较低，工作稳定性高，操作灵活、安全；2、能满足不同的处理需求，实现大面积的等离子体处理；3、能在室内开放环境中产生的低温等离子体。

主权项

一种大面积低温等离子体发生装置，其特征是包括控制电路、高压电源、阻抗匹配器、绝缘手柄、高压母接头、高压电极、待处理物；其中，高压电源的输出口负极接地，高压电源的输出口正极与阻抗匹配器的输入端相连；阻抗匹配器的输出端通过高压导线与绝缘手柄内部的高压母接头的一端相连；高压母接头的另一端与高压电极相连；高压电源和市电之间接有控制电路；在高压电极和接地的待处理物之间产生低温等离子体并直接作用于待处理物的表面或者电极与待处理物之间的物体；所述的高压电极为高压电极A、高压电极B、高压电极C中的一种；所述的高压电极A包括高压公接头、A连接条绝缘外套、高压电极绝缘外套、高压电极绝缘环氧胶、高压电极阻挡介质、高压铜电极；其中，绝缘外套包裹高压铜电极，A连接条绝缘外套包裹高压公接头；高压电极绝缘环氧胶连接A连接条绝缘外套和高压公接头，并固定于高压铜电极的后端，防止电弧漏电；高压铜电极的前段固定高压电极阻挡介质；所述高压电极绝缘外套材质为聚四氟乙烯或聚醚酰亚胺，内径20mm‑23mm，外径31mm‑36mm；所述高压铜电极外径尺寸20mm‑23mm；所述高压电极阻挡介质是石英玻璃片，其厚度为0.5mm‑1.5mm、直径为34mm；所述高压公接头是铜牙条，其长度为20mm‑25mm；A连接条绝缘外套包裹在高压公接头中间， A连接条绝缘外套的长度为15mm‑18mm，A连接条绝缘外套材质为硅橡胶；使用时，将高压电极旋进绝缘手柄的内部，高压公接头的一端与高压铜电极连接，高压公接头的另一端和高压母接头通过螺纹连接，在高压电极阻挡介质和待处理物之间产生大面积低温等离子体，高压电极A产生800mm2‑1000mm2的低温等离子体；所述的高压电极B包括铜牙条、B连接条绝缘外套、绝缘介质管、高压铜电极；其中，高压铜电极与绝缘介质管内壁贴合，B连接条绝缘外套包裹铜牙条并露出铜牙条两端，铜牙条连接高压铜电极尾部；组装时，将高压铜电极塞入绝缘介质管的底部，使得高压铜电极与绝缘介质管内壁贴合，并在两者之间涂抹一层导电胶水排尽高压铜电极和绝缘介质管之间的空气，高压铜电极尾部端面正中间攻一道直径6mm‑8mm的螺母，将覆盖有连接条绝缘外套的铜牙条拧入高压铜电极尾部，并用高压电极环氧树脂胶水进行封堵，形成牢固的封堵层，将组装好的高压电极B插入绝缘手柄的高压母接头中；工作时，高压电极B产生200mm2‑400mm2低温等离子体；所述绝缘介质管材质为陶瓷管，陶瓷管厚度为5mm‑7mm；高压铜电极外径为7mm‑8mm，高压铜电极底部呈与绝缘介质管同样弧度的形状；所述高压电极C包括铜牙条、C连接条绝缘外套、Y型支架、阻挡介质管、高压铜电极、支架铣槽、高压导线；其中，高压铜电极在阻挡介质管内，Y型支架分为上下两个部分，在上下两个贴合面上有支架铣槽，高压铜电极和阻挡介质管的两端与Y型支架的上下部分连接；高压导线排布在支架铣槽中，高压导线一端与铜牙条连接，另一端与高压铜电极连接；C连接条绝缘外套包裹铜牙条并露出铜牙条两端；所述阻挡介质管为一个两端开口的陶瓷管，阻挡介质管的管壁厚度为4mm，内径9mm‑10mm，外径17mm‑18mm，长16cm‑18cm；高压电极的直径为7mm‑9mm，长度16cm‑18cm；所述Y型支架，材质为聚四氟乙烯或尼龙；组装时，将高压铜电极放入阻挡介质管内部，并在高压铜电极的外侧和阻挡介质管的内侧涂抹一侧导电胶水以挤出间隙见残留的空气，在下部分Y型支架上安装高压铜电极和阻挡介质管，并在铣槽中排布高压导线，然后将高压导线顺着支架铣槽连至Y型支架的后端，与铜牙条和连接条绝缘外套相连，最后将上部分Y型支架合上固定住；工作时，高压电极C产生3500mm2‑4000mm2面积的低温等离子体。