[发明专利]用于将绝缘衬底焊接在载体上的方法有效

专利信息
申请号: 201610607821.0 申请日: 2016-07-28
公开(公告)号: CN106486342B 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: C·兰贝尔-里维埃;J-L·德波尔德;M·哈勒尔;N·A·扎纳特拉;V·瓦托罗梅 申请(专利权)人: 英飞凌科技股份有限公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/3105
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 郑立柱
地址: 德国诺伊*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种用于借助预先给定的焊料(4)将绝缘衬底(2)焊接在载体(3)的衬底安装部段(32)上的方法,其中绝缘衬底(2)具有介电的绝缘载体(20),上侧(2t)以及与上侧(2t)对置的下侧(2b)。在该方法中根据标准选择绝缘衬底(2),该标准由此推断,即当绝缘衬底(2)具有焊料(4)的固相线温度时,绝缘衬底(2)具有正的不均匀度(UE2)。在绝缘衬底(2)的下侧(2b)处将所选择的绝缘衬底(2)与衬底安装部段(32)焊接在一起,使得固化的焊料(4)在焊接之后贯穿地从绝缘衬底(2)的下侧(2b)延伸到衬底安装部段(32);在焊接之前或之后,在绝缘衬底(2)的上侧(2t)装配至少一个半导体芯片(1)。
搜索关键词: 用于 绝缘 衬底 焊接 载体 方法
【主权项】:
1.一种用于借助预先给定的焊料(4)将绝缘衬底(2)焊接在载体(3)的衬底安装部段(32)上的方法,其中所述绝缘衬底(2)具有介电的绝缘载体(20),上侧(2t)以及与所述上侧(2t)对置的下侧(2b),并且其中所述方法包括:根据标准选择绝缘衬底(2),所述标准由当所述绝缘衬底(2)具有所述焊料(4)的固相线温度时,所述绝缘衬底(2)具有正的不均匀度(UE2)来推断;在所述绝缘衬底(2)的所述下侧(2b)处将所选择的绝缘衬底(2)与所述衬底安装部段(32)焊接在一起,使得固化的所述焊料(4)在焊接之后贯穿地从所述绝缘衬底(2)的所述下侧(2b)延伸到所述衬底安装部段(32);在所述焊接之前或之后,在所述绝缘衬底(2)的所述上侧(2t)装配至少一个半导体芯片(1),其中进行所述选择所依据的所述标准或者在于,在所述焊接之前,所选择的绝缘衬底(2)从小于所述焊料(4)的所述固相线温度(TS)的起始温度(T0)开始加热到高于所述焊料(4)的液相线温度(TL)的预先给定的最大温度(TMAX)并且在之后被冷却,使得所选择的绝缘衬底(2)再次达到所述焊料(4)的所述固相线温度(TS),并且使得所选择的绝缘衬底(2)基于确定被选择,即在再次达到所述焊料(4)的所述固相线温度(TS)的情况下,其具有正的不均匀度(UE2);或者在于,在所述焊接之前,来自生产批次中的包括N个样本‑绝缘衬底的样本中的每一个从小于所述焊料(4)的所述固相线温度(TS)的起始温度(T0)开始加热到高于所述焊料(4)的液相线温度(TL)的预先给定的最大温度(TMAX)并且在之后被冷却,使得所选择的绝缘衬底(2)再次达到所述焊料(4)的所述固相线温度(TS),并且使得所选择的绝缘衬底(2)基于确定从生产批次中被选择,即N个样本‑绝缘衬底中的每一个在再次达到所述焊料(4)的所述固相线温度(TS)的情况下具有正的不均匀度(UE2)。
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