[发明专利]一种大范围原子力显微镜扫描定位系统有效
| 申请号： | 201610601352.1 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN106053886B | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 许素安;金玮;黄艳岩;富雅琼;谢航杰 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大范围原子力显微镜扫描定位系统。本发明中的被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM7自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。本发明压电陶瓷采用锁相环回路步进驱动，从测量和驱动方法上克服了压电陶瓷自身非线性和蠕变等机械缺陷，从而解决了AFM扫描图像畸变的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 范围 原子 显微镜 扫描 定位 系统 | ||
【主权项】：
1.一种大范围原子力显微镜扫描定位系统，其特征在于该扫描定位系统由XY平面扫描器、立方镜载物台，X轴外差激光干涉仪、Y轴外差激光干涉仪、AFM针尖、AFM、高频相移电路、同步脉冲触发控制器、计算机组成；被观测样品置于立方镜载物台的中心，AFM自带的Z向扫描器完成Z轴方向控制运动并实现原子力反馈；立方镜载物台的位移测量采用X轴外差激光干涉仪和Y轴外差激光干涉仪；XY平面扫描器的运动与AFM的同步采集采用同步脉冲触发器，同步扫描触发器的脉冲信号来自XY平面扫描器的编码器和高频相移电路；XY平面扫描器每次动作时，同步脉冲触发器通过计算机向AFM的数据采集卡发送中断脉冲，用于采集Z轴位置信号。
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