[发明专利]一种元件激光损伤测量方法及装置

摘要

本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。

主权项

1.一种元件激光损伤测量方法，其特征在于，该方法包括：对元件样品上的每一个预设测试点分别采用不同的预设能量范围内的激光脉冲进行多发次辐照，并获取每一个预设测试点每一发次辐照时激光脉冲的能量，以得到对应的能量密度值；实时监测每一个预设测试点的光学图像以判定该测试点是否产生功能性损伤；计算通过对每一个预设测试点进行多发次辐照后获得的多个激光脉冲能量密度值的第一平均值作为该测试点的能量密度值，并将计算得到的每一个预设测试点对应的能量密度值进行排序；将排序后的最小能量密度值至最大能量密度值之间的能量区间划分为第一预设数目的等间距能量段，每一个能量段包括至少一个所述能量密度值；根据每一个预设测试点的功能性损伤的判定结果计算每一个能量段对应的功能性损伤概率，以及计算该能量段所包括的能量密度值的第二平均值；及根据所述功能性损伤概率及所述第二平均值，生成并输出所述元件样品的功能性损伤测量曲线。