[发明专利]使用机器视觉检验系统中的可调谐透镜的多等级图像聚焦

摘要

提供用于定义获取包括不同Z高度处的第一兴趣区域和第二兴趣区域的工件的多重曝光图像的操作的方法。通过包括用于周期性地调制聚焦位置的选通式照射和可变焦距透镜(例如可调谐声学梯度折射率透镜)的机器视觉检验系统获取多重曝光图像。在学习模式期间，确定用于选通式照射的实例的第一多重曝光定时值和第二多重曝光定时值，该第一和第二多重曝光定时值对应于产生用于第一兴趣区域和第二兴趣区域的充分图像聚焦的周期性地受调制聚焦位置的第一相位定时和第二相位定时。指示多重曝光定时差的数据得以记录并且随后(例如在运行模式期间)被利用，以定义用于获取与代表性工件相似的当前工件上的第一兴趣区域和第二兴趣区域的多重曝光图像的操作。

主权项

1.一种用于定义控制机器视觉检验系统的实例所提供的多重曝光图像的获取的操作的方法，所述机器视觉检验系统包括：照射源，用于提供选通式照射；以及成像系统，包括用于在沿着工件附近的Z高度方向的多个位置上周期性地调制所述成像系统的聚焦位置的可变焦距透镜，所述方法包括：在所述机器视觉检验系统的第一实例的学习模式期间执行操作，以确定多重曝光定时差，所述学习模式操作包括：定义在代表性工件上具有不同的Z高度的第一兴趣区域和第二兴趣区域；收集至少一个图像堆叠，所述至少一个图像堆叠包括各个Z高度处所聚焦的所述代表性工件上的所述第一兴趣区域和第二兴趣区域的各个图像，其中，使用定时为对应于所述周期性地受调制的聚焦位置的各个相位定时的选通式照射的至少一个实例对所述至少一个图像堆叠的每个图像进行曝光，所述周期性地受调制的聚焦位置与对于所述至少一个图像堆叠的所述各个图像的各个Z高度处的焦点对应；至少部分地基于所述至少一个图像堆叠中的所述第一兴趣区域和第二兴趣区域的焦点的分析来确定用于选通式照射的实例的第一多重曝光定时值和第二多重曝光定时值，所述第一多重曝光定时值和第二多重曝光定时值分别对应于产生用于所述第一兴趣区域和第二兴趣区域的充分图像聚焦的所述周期性地受调制的聚焦位置的第一相位定时和第二相位定时；以及记录指示所述代表性工件上的所述第一兴趣区域和第二兴趣区域的方位的数据以及指示所述第一多重曝光定时值与第二多重曝光定时值之间的多重曝光定时差的数据，其中，所记录的数据可用于定义以下操作：当操作所述机器视觉检验系统的使用实例以获取与所述代表性工件相似的当前工件上的所述第一兴趣区域和第二兴趣区域的多重曝光图像时，至少部分地基于所述多重曝光定时差来控制多重曝光图像获取。