[发明专利]位置测量机构有效

专利信息
申请号: 201610591470.9 申请日: 2016-07-26
公开(公告)号: CN106404013B 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: E.迈尔 申请(专利权)人: 约翰内斯·海德汉博士有限公司
主分类号: G01D5/347 分类号: G01D5/347
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 杨国治;张昱
地址: 德国特劳*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及位置测量机构,包括量具和扫描单元,其沿着测量方向相对彼此能够运动地布置,其中,在量具上布置有测量刻度,所述测量刻度由用于产生位置信号的扫描单元能够扫描并且扫描单元为此包括照明单元和探测器单元,其中,由照明单元沿着测量刻度的方向能够发出光并且由测量刻度调制的光由探测器单元能够探测并且其中,探测器单元包括电路板和传感器单元,所述传感器单元构造为半导体芯片。本发明的特征在于,在传感器单元的面向测量刻度的前侧面上布置有至少两个光电探测器并且传感器单元的电的接头借助于金属的金属化通孔引导至在所述传感器单元的背侧面上的接触面并且传感器单元通过接触面连接到在电路板上的相对应的接触面处。
搜索关键词: 位置 测量 机构
【主权项】:
位置测量机构,包括量具(40)和扫描单元(10),所述量具和所述扫描单元沿着测量方向(X)相对彼此能够运动地布置,其中,在所述量具(40)上布置有测量刻度(41),所述测量刻度(41)能够由用于产生位置信号的所述扫描单元(10)扫描并且所述扫描单元(10)为此包括照明单元(20)和探测器单元(30),其中,光能够由所述照明单元(20)沿着所述测量刻度(41)的方向发出并且由所述测量刻度(41)调制的光能够由所述探测器单元(30)探测并且其中,所述探测器单元(30)包括电路板(31)和传感器单元(32),所述传感器单元(32)构造为半导体芯片,其特征在于,在所述传感器单元(32)的面向所述测量刻度(41)的前侧面上布置有至少两个光电探测器(35)并且所述传感器单元(32)的电的接头借助于金属的金属化通孔(36)引导至在所述传感器单元(32)的背侧面上的接触面(33)并且所述传感器单元(32)通过所述接触面(33)连接到在所述电路板(31)上的相对应的接触面(34)处。
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